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图纹面的照相制版印刷工艺半导体器件的加工技术、其所用材料原版专用设备专利技术3

001 红外线和紫外线感光组合物及平印印版
002 用于砂磨的光敏组合物以及含该组合物的光敏膜层压物
003 一种可以正负性互用的化学增幅抗蚀剂及其光刻工艺方法
004 烷氧基N-羟基烷基链酰胺作为抗蚀剂脱除剂的用途
005 用于高光敏度高抗蚀厚涂层i-线光刻胶的磺酰肟类
006 固体水溶感光柔性版
007 一种化学增强型正光刻胶组合物
008 具有改善的柔韧性的可光成象组合物
009 哂懈纳频娜崛托缘目晒獬上笞楹衔?br>010 剥离剂、及其剥离
方法、剥离剂循环设备及剥离剂控制装置
011 光敏树脂及其组合物和用该组合物构成图案的方法
012 光敏组合物和图像成形方法
013 液态光敏组合物
014 光敏喹诺酮化合物及其制备方法
015 包含新的光活性化合物的正性光刻胶
016 吸光聚合物
017 用于光刻胶组合物的抗反射涂料组合物及其用途
018 使用阴影心轴和偏轴曝光印制亚光刻图像
019 用于点照明介质的照明装置和照明方法
020 制作自对准部件的方法
021 减少显影剂残余物的显影水溶液
022 半导体制造中防止由介质防反射层引起的光致抗蚀剂中毒
023 具有改进的剥离能力和分辨率的光成像组合物
024 具有改进的柔韧性和剥离能力的光成像组合物
025 环氧树脂固化所用的三元光引发剂体系
026 用于固化环氧/多元醇树脂组合物的三元光引发剂体系
027 可光固化的树脂组合物
028 干式成像材料及干式成像方法
029 微透镜、其和垂直空腔表面辐射激光器的组合及其制造方法
030 分级酚醛清漆树脂共聚物以及由其得到的光刻胶组合物
031 降低基片依赖性的试剂
032 厚膜光刻胶的低温金属化制备方法
033 含缩聚物的光刻胶组合物
034 巧妙的照相平版制版法
035 双面印刷电路板的曝光设备
036 一种形成光刻胶图形的方法
037 半导体器件的制造方法
038 加热干胶片及在干胶片上烘烤光致抗蚀剂膜的方法和设备
039 光刻胶组合物,其制备方法和用其形成图纹的方法
040 晶片加热装置以及使用其加热晶片的方法
041 曝光方法及其装置
042 无机被膜形成用组合物及无机被膜形成方法
043 包含双键的交联剂单体及含有此单体的光致抗蚀剂共聚物
044 一种在表面上印刻分子级图形的方法
045 光刻校正的方法
046 具有固体盖层的液体光聚合物印刷元件
047 正型放射感应性组合物
048 辐射敏感性树脂组合物
049 极微小光致抗蚀图形的形成方法
050 正型光致抗蚀剂组合物
051 光致抗蚀剂剥离液及剥离方法
052 采用包封的辐射敏感组合物的成象体系
053 超薄感光层的感光版及其制法和用途
054 正型光致抗蚀剂组合物
055 含有光碱产生剂与光酸产生剂的光致抗蚀剂组合物
056 辐射敏感性树脂组合物
057 正性敏射线的树脂组合物
058 光敏性树脂组合物
059 正性光介电组合物
060 残留物含量降低的感光组合物连续液态加工法
061 产生粒子少的光刻胶组合物的制造方法
062 制造光活性化合物以及由其制造光刻胶的方法
063 双面成像材料
064 网点印刷制版的防伪方法及用该方法制成的印品
065 改进的图形发生器
066 采用超紫外光的图形发生器
067 一种测量相对位置误差的装置
068 敏射线树脂组合物
069 特别适于由立体平版术的液态可辐射固化组合物
070 平版印版用支承体及使用了该支承体的平版印刷用原版
071 红外线辐射和热敏感的组合物及用其涂覆的平版印刷印版
072 含有马来酰亚胺的光致聚合组合物及其使用方法
073 修正光邻近效应的方法
074 含挠性低聚物的可光成像的组合物
075 正性辐射敏感性树脂组合物
076 一种水分散性负型感光性组合物
077 整平的方法
078 感光性树脂组成物
079 传送带式真空施加器及将抗蚀干膜施加于一印刷线路板上的方法
080 显影液的组成物
081 具有腈和脂环族离去基团的共聚物和包含该共聚物的光刻胶组合物
082 直接制版印刷设备及印版
083 抗蚀剂剥离装置和抗蚀剂剥离液管理方法以及半导体装置
084 用来从基质表面剥离光阻材料和有机材料的组合物
085 可光聚合热固性树脂组合物
086 可光固化弹性组合物
087 光敏化合物和光敏树脂
088 热敏性平版印刷版
089 感光性平版印刷版的制造方法
090 曝光方法及其曝光装置、以及器件制造方法
091 多重横向成像装置和方法
092 具有脱模剂的表面
093 用于清洗微电子衬底的含硅酸盐碱性组合物
094 平版印刷版原版的制造方法
095 平版印刷版所用原版
096 感光性树脂母体组合物
097 阳性型感光性平版印刷版
098 制备多层内连电路的方法
099 金属离子含量低的4,4′-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙...
100 金属离子含量低的4,4′-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙...
101 化学放大型正光刻胶组合物
102 化学放大型正光刻胶组合物
103 自动显影装置及补充显影补充液的方法
104 感热性平版印刷版,该平版印刷版用基板及基板制造方法
105 敏射线树脂组合物及其改进其防干性蚀刻性能的方法
106 感光性树脂组成物
107 化学放大型正光刻胶组合物
108 使用无抗蚀剂电子束光刻制造亚微米抗蚀金属/半导体结构
109 微石印用光致抗蚀剂、聚合物和工艺
110 敏射线树脂组合物及改进该组合物的防干蚀刻性能的方法
111 将光栅从静电放电中隔开的方法
112 光聚合性组合物
113 曝光方法及装置、曝光装置的制造方法以及器件制造方法
114 双侧曝光系统
115 高温快速高反差印刷套药
116 平版印刷版原版
117 曝光设备的光学元件保持装置
118 用于抗蚀剂流动工艺的光致抗蚀剂组合物以及使用所述组合物形成接触孔的方法
119 光敏影像记录材料
120 用于平版印刷印版的保护性插页,以及平版印刷印版的包装方法
121 在超紫外光源中气体喷射控制的护罩喷嘴
122 制备1,2-萘醌二叠氮化物感光剂的方法
123 包括含有内酯部分的环烯聚合物的光致抗蚀剂组合物
124 化学增强型正光刻胶组合物和锍盐
125 涂覆及显影的方法及其系统
126 用于涂敷和显影的系统和方法
127 曝光方法和设备制造方法
128 曝光装置以及曝光方法
129 可电离辐射成象的感光聚合物组合物
130 用于正性光刻胶的混合溶剂体系
131 光刻胶及微平版印刷术
132 含有四氢呋喃甲基氧羰基官能基的可聚合烯类化合物及含其的光阻剂
133 膏料、显示器部件和显示器部件的制造方法
134 热敏性组合物和平印印刷板
135 平版印刷版的积层产品和平版印刷版的积层方法
136 可光固化和光构图的二氢唑酮共聚物基水凝胶基质
137 辐射敏感性组合物
138 正型光致抗蚀剂层及其使用方法
139 含有可光聚合的粘合剂低聚物的可光成像的组合物
140 酚/脂环的共聚物和光致抗蚀剂
141 辐射敏感性树脂组合物
142 抗蚀层的剥离方法
143 化学放大型正光刻胶组合物
144 可红外线激光成像的平版印刷元件以及这种印刷元件的制作和成像方法
145 得自纤维素粘合剂的快速蚀刻、热固性抗反射涂料
146 光掩模坯的保持装置
147 光敏树脂组合物
148 用于193纳米波长的正性光刻胶组合物
149 用作潜在酸供体的碘∴盐
150 用于检查光掩模上形成的曝光图形的方法
151 曝光装置
152 化学放大型正光刻胶组合物
153 负像记录材料和图像形成方法
154 非光致成像陶瓷带形成图案的方法
155 平版印刷的印刷板的制备方法
156 具有高温稳定性的酚醛聚合物平面化薄膜
157 抗反射涂层组合物
158 多层衰减相移掩模
159 感光性组合物与光波导元件及其制造方法
160 优化气体透光度的化学过滤方法
161 对绿光敏感的光致聚合物全息记录材料及其制备方法
162 曝光装置
163 光刻装置和曝光方法
164 衰减相移掩模及其制作方法
165 带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物
166 化学增强型正光刻胶组合物和锍盐
167 灯箱型的彩色喷墨胶片
168 用于曝光印刷版的小型多束激光光源和隔行光栅扫描线法
169 曝光装置、基片处理单元和光刻系统及器件制造方法
170 含脂环族溶解抑制剂的正光刻胶组合物
171 用带构图的发射器进行发射光刻的方法和装置
172 交叉光栅光子晶体以其多次曝光的制造工艺
173 用新型抽提技术制备分级酚醛清漆树脂
174 用于深紫外线光刻胶的防反射组合物
175 苯胺印刷版和苯胺印刷版用原版
176 用一次光刻产生T形栅的移相掩模光刻方法
177 用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置
178 图形形成材料和形成方法以及曝光用掩模的制造方法
179 平版印刷版用支撑体及平版印刷版
180 光敏糊和使用该光敏糊的用于等离子体显示板的基材
181 光敏树脂组合物、使用光敏树脂组合物的感光性元件、蚀刻图形的制法及印刷线路...
182 并行处理式光学测距仪
183 用于辊涂的辐射敏感性树脂组合物和辊涂方法
184 适用于生成亚微米级宽金属线图案的制法
185 薄膜上形成图案的方法
186 设计电子束掩模的方法和装置
187 光电及半导体制造过程中聚亚醯胺膜层的剥除方法
188 在衬底上形成微图形的方法
189 集成电路管芯产率最大化方法
190 用于束曝光的掩模及其制造方法
191 感光组合物
192 一种银盐扩散转移铝基胶印版的显影液及其用途
193 腐蚀增强层
194 聚合物薄膜图案成形方法及其应用
195 光敏组合物
196 曝光方法
197 使用微胶囊的感光材料
198 一种集成光学器件的生产方法
199 感光性平版印刷版
200 热敏性平版印刷版
201 画像评价方法和平版印刷版品质管理方法
202 化学放大型正光刻胶组合物
203 感光或感热性图像形成材料
204 热敏平版印版前驱体
205 位置偏移光学测定装置的调整装置和调整方法
206 用于短波半导体激光曝光的可光聚合组合物,光敏组合物和用于聚合光敏组合物的...


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