光学钝化薄膜及其制造方法以及太阳能电池 CN201110432484.3

一种光学钝化薄膜及其制造方法以及太阳能电池，光学钝化薄膜包括Ti1-xAlxOy:Z，其中Z表示卤素元素，x介于0.05～0.95，y大于0。所述光学钝化薄膜的制造方法包括制备喷涂溶液，其中喷涂溶液包括氧化铝前驱物、氧化钛前驱物、卤素溶液以及溶剂。将基板放置于加热器上以对基板进行加热步骤。进行喷涂程序以将喷涂溶液喷涂于基板上，以形成所述光学钝化薄膜。本发明另提出一种使用所述光学钝化薄膜的太阳能电池。
专利号：201110432484.3
专利申请日：2011.12.21
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.05.29
分类号：
申请（专利权）人：财团法人工业技术研究院
发明（设计）人：孙文檠;游胜闵;王泰瑞;孙佳凉;林泽胜
国别省市：台湾;71