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应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备和方法 CN201310352520.4


本发明涉及太阳能电池的生产领域,其公开了一种应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备和方法,包括靶室单元、靶台扫描运动单元离子束测量控制单元;所述靶室单元内设靶台单元,所述靶台单元包括目标工件、注入隙缝图形掩模和目标工件夹具;所述靶台扫描运动单元携带所述靶台单元运动;所述离子束测量控制单元测量离子束的离子束电流、离子束电流密度分布和离子束的角度;所述目标工件夹具固定所述目标工件和注入隙缝图形掩模。本发明的有益效果是:在太阳能电池片的制作上具有低成本高产能的优点。
专利类型:发明
专利号:201310352520.4
专利申请日:2013.08.14
公开(公告)日:2013.11.20
申请(专利权)人:宁波瑞曼特新材料有限公司
发明(设计)人:施惠栋
国别省市:浙江;33


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