背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法 CN201210469616.4
本发明涉及晶体硅太阳能电池制备领域,具体涉及一种背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法,包括以下步骤:(1)将石墨舟中的石墨挡板进行加工,形成镂空的网状结构;(2)将硅片经制绒、扩散制作PN结、周边刻蚀、去除磷硅玻璃后装在硅片花篮里等待镀膜;(3)将经过步骤(2)处理后的硅片装在步骤(1)加工后的石墨舟中,使得硅片背面贴紧石墨挡板,且使用镀膜设备对硅片背面无遮挡区域和正面同时镀上氮化硅薄膜;(4)将步骤(3)中两面都镀好膜的硅片进行丝网印刷背面电极、背面电场和正面电极,然后共烧结,制作成背面钝化晶体硅太阳电池。采用以上方法成本低、重复性好、适合工业化批量生产。
专利类型:发明
专利号:
201210469616.4专利申请日:
2012.11.20公开(公告)号:
公开(公告)日:
2013.3.13分类号:
申请(专利权)人:
宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司发明(设计)人:
蔡二辉;刘伟;余涛;陈筑;刘晓巍国别省市:
浙江;33