一种多晶硅太阳能电池叠层减反射膜制备的方法 CN201310108909.4

本发明提供了一种多晶硅太阳能电池叠层减反射膜制备的方法。所述方法包括如下步骤：选用P型太阳能级的硅片作为衬底；利用氢氟酸和硝酸混合溶液进行制绒；磷扩散；刻蚀去边；去除磷硅玻璃；利用PECVD制备叠层减反射膜。该方法采用PECVD设备，通过适当改变气体流量比的方法实现叠层减反射膜制备。
专利类型：发明
专利号：201310108909.4
专利申请日：2013.04.01
公开（公告）日：2014.10.08
申请（专利权）人：北京中科信电子装备有限公司
发明（设计）人：李士会
国别省市：北京;11