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高纯碳化硅专利技术,高纯碳化硅制备方法,高纯碳化硅生产工艺,高纯碳化硅配方
2、应用于半导体领域中的超高纯碳化硅粉制备技术 3、一种高纯碳化硅颗粒的反应装置及制备方法 4、一种高纯半绝缘碳化硅粉料的制备方法 5、一种高纯碳化硅原料的合成方法 6、一种生长高纯碳化硅单晶的方法及装置 7、一种低氮高纯碳化硅粉料合成的方法 8、一种碳化硅单晶生长用高纯碳化硅粉体的制备方法 9、大直径高纯半绝缘碳化硅生长工艺方法 10、用于高纯碳化硅粉料的一种预制料处理方法 11、一种高纯度超薄碳化硅衬底制备方法 12、一种用于单晶生长的高纯碳化硅粉体制备方法 13、一种高纯高致密碳化硅陶瓷及其制造方法 14、硅晶圆切割用高纯碳化硅微粉及其制备装置、方法 15、一种高纯碳化硅粉制备方法 16、一种基于高纯半绝缘碳化硅衬底制备周期性pn结石墨烯的方法 17、一种高纯碳化硅晶体电阻率的检测方法和装置 18、高质量高纯半绝缘碳化硅单晶、衬底及其制备方法 19、一种高纯碳化硅粉料及其制备方法、反应器 20、一种高纯碳化硅、碳化硅晶圆及其制备方法 21、一种高纯碳化硅材料的制备方法 22、一种高纯石墨坩埚及高质量碳化硅单晶制备方法 23、深度去除高纯碳化硅粉体中杂质元素的方法 24、一种高纯碳化硅多晶粉源前驱体的制备方法 25、一种利用粉石英加工碳化硅重结晶烧结高纯陶瓷磨料的方法 26、一种高纯碳化硅粉及其制备方法 27、一种高纯半绝缘碳化硅单晶及其高效制备方法和应用 28、一种高纯度碳化硅制品的制备方法 29、一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法 30、一种高密高纯碳化硅制品的制备方法 31、高纯碳纤维增强碳化硅复合材料及其制备方法 32、一种从晶体硅切割废料中回收高纯硅和碳化硅的方法 33、一种高纯碳化硅粉及其制备方法 34、一种用碳化硅切割晶体硅废砂浆制备高纯硅的方法 35、一种高纯碳化硅单晶的生长方法 36、一种提升高纯碳化硅粉料合成效率的方法 37、用于制备高纯超细粉体的高强度高圆球度碳化硅研磨珠 38、由碳化硅长晶剩料制备高纯碳材料的方法 39、一种高致密度高纯度碳化硅衬底材料的制备方法 40、ITO板状靶材高温烧结用高纯度重结晶碳化硅陶瓷的生产方法 41、一种高纯半绝缘碳化硅晶体生长装置及其方法 42、一种高纯碳化硅单晶衬底 43、一种单晶高纯度碳化硅及其制备方法 44、一种大尺寸高纯碳化硅单晶、单晶衬底及其制备方法 45、一种利用火焰作为热源的高纯碳化硅粉体的制备方法 46、一种高纯碳化硅粉及其制备方法 47、一种制备高纯碳化硅粉料的方法 48、一种高纯碳化硅的制备装置和方法 49、一种高纯碳化硅粉料的制备方法 50、一种高效率制备高纯半绝缘碳化硅单晶生长装置及方法 51、一种高纯半绝缘碳化硅衬底的制备方法 52、一种高纯碳化硅原料的合成方法及其应用 53、用于生长高纯半绝缘碳化硅晶体的坩埚 54、一种高纯半绝缘碳化硅单晶的制备方法 55、一种高纯度碳化硅和硅的回收方法 56、高纯度碳化硅陶瓷制造方法和陶瓷基材 57、一种碳化硅微粉的高效高纯度回收方法 58、半导体用高纯碳化硅微粉的提纯方法 59、高圆形度高纯度碳化硅超细粉体材料 60、一种从晶硅切割废砂浆中提取高纯度碳化硅的方法 61、气相沉积装置以及使用高纯度聚合物衍生的碳化硅的技术 62、一种低温低成本高纯碳化硅超细微粒的制备方法 63、一种稳定PVT法生长4H高纯碳化硅单晶晶型的原料处理方法 64、一种生长高纯半绝缘碳化硅单晶的方法及装置 65、一种快速生长大尺寸高纯半绝缘碳化硅单晶的方法 66、无掺杂元素的高纯半绝缘碳化硅晶体生长装置 67、一种高纯度碳化硅微粉的制备方法 68、一种高纯高密重结晶碳化硅器件及其制备方法 69、高纯度聚硅氧碳衍生的碳化硅材料、应用和过程 70、一种高纯碳化硅粉料制备的方法 71、一种利用多晶硅块和鳞片石墨制备高纯碳化硅粉的方法 72、一种高纯、铝掺杂碳化硅粉及其合成方法 73、用于形成用在流化床反应器中的碳化硅的高纯度硅 74、一种高纯度大尺寸碳化硅单晶及其制备工艺 75、用于合成超高纯度碳化硅的方法 76、一种高纯度碳化硅的制备方法 77、一种高纯亚纳米碳化硅微粉的生产方法 78、一种高纯度氧化硅/碳化硅纳米链状异质结构的制备方法 79、公斤级高纯碳化硅粉的制备方法 80、一种高纯碳化硅回收浮选剂 81、一种高纯线状碳化硅粉及其制备方法 82、100毫米的高纯半绝缘单晶碳化硅晶片 83、一种高纯度纳米碳化硅纤维的制备方法 84、高纯碳化硅粉体的高温固相合成方法 85、碳化硅晶体生长用高纯碳化硅原料的固相合成方法 86、一种高纯碳化硅原料的制备方法 87、用于碳化硅单晶生长的高纯碳化硅原料的合成方法 88、一种高纯度石墨/碳化硅复合介孔纤维材料的制备方法 89、从硅料线切割废砂浆中回收碳化硅、高纯硅和分散液的方法 90、高纯度绿碳化硅微粉的制备方法 91、一种以四氟化硅为原料生产高纯碳化硅和氟化氢的方法 92、100毫米的高纯半绝缘单晶碳化硅晶片 93、一种高纯亚纳米碳化硅微粉的提纯方法 94、线切割用高纯超细碳化硅微粉水力溢流分级专用分散剂及其制备和使用方法 95、一种高纯半绝缘碳化硅体单晶的生长装置 96、一种高纯碳化硅微粉的回收提纯和分级方法 97、高纯碳化硅的生产工艺 98、高纯度碳化硅微粉的生产方法 99、一种高纯超细碳化硅粉体的湿化学连续式合成方法 100、一种制备高纯半绝缘碳化硅晶体的方法 101、纳米碳化硅助剂烧结高纯碳化硅蜂窝陶瓷体的制造方法 102、通过煅烧由碳水化合物和硅氧化物制备高纯度碳化硅的方法 103、用于半导体单晶生长的高纯碳化硅粉的人工合成方法 104、一种高纯超细碳化硅微粉回收提纯分级技术 105、纳米碳化硅助剂烧结高纯碳化硅蜂窝陶瓷体的制造方法 106、100毫米的高纯半绝缘单晶碳化硅晶片 107、在含氢环境中超高纯碳化硅晶体的生长 108、以高纯固态碳素材料为主经渗硅制备高纯碳化硅烧结体的方法及组合物 109、在高纯碳化硅晶体中产生半绝缘电阻率的方法 110、硅化的碳化硅基复合材料及其制备方法和用途
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