非晶硅生产工艺系列专利技术
1、半导体薄膜及其改性方法、评价方法和应用
2、薄膜晶体管用非晶硅的结晶方法
3、采用晶态硅薄膜阻光层的液晶光阀及其制造方法
4、成膜装置及其用它生产非晶硅化合物薄膜的方法
5、电阻加热式单晶片腔室中的掺杂的硅沉积工艺
6、多层非晶硅的制造方法
7、多晶态硅膜的制造方法和制造装置、以及半导体装置及其制造方法
8、非晶硅（多晶硅）家用小型太阳能发、用电装置
9、非晶硅薄膜太阳能电池制作装置
10、非晶硅光电池片及其制造法
11、非晶硅光位置敏感器件
12、非晶硅结晶法
13、非晶硅晶化设备及方法
14、非晶硅静电成象器
15、非晶硅太阳电池背电极的刻蚀方法
16、非晶硅太阳电池收音机
17、非晶硅太阳电池诊疗仪
18、非晶硅太阳能电池板笔记本电脑
19、非晶硅太阳能电池夹胶玻璃组件
20、非晶态硅碳氢钝化工艺
21、将非晶硅转换为多晶硅的方法
22、具有带球形凹痕的基底.非晶硅(锗.锡)光敏层和非晶硅(氧.碳.氮)表面层的光接收元件
23、利用掩膜使非晶硅结晶的方法
24、内联叠层非晶硅光电池
25、内联式超薄弱光型非晶硅光电池生产线
26、内联式非晶硅太阳能电池及制造方法
27、漂移型非晶硅光电阴极
28、气载掺杂剂掺杂非晶硅方法
29、弱光型非晶硅太阳能电池
30、使用非晶硅碳罩幕蚀刻铝层的方法
31、外联式非晶硅太阳能电池
32、稳定非晶硅及含稳定非晶硅的器件
33、新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池
34、一种表盘应用的非晶硅光电池
35、一种大面积沉积非晶硅的反应盒
36、一种非晶硅标准太阳电池
37、一种非晶硅光电池的制造方法
38、一种非晶硅太阳能电池
39、一种非晶硅太阳能电池的制造方法
40、一种结晶非晶硅的方法
41、一种内联弱光型非晶硅光电池
42、一种生长非晶态硅的方法及所得的非晶态硅薄膜
43、一种特殊的非晶硅光电池
44、一种外联非晶硅光电池
45、一种外联集成式弱光型非晶硅光电池
46、一种外联集成式弱光型非晶硅光电池 2
47、一种外联弱光型非晶硅光电池
48、用于非晶态硅和形成的薄膜的化学气相沉积法
49、与非逻辑非晶硅只读存储器及其制造方法
50、制造光电器件和其他半导体器件用的氢化非晶硅合金的沉积方法
