单晶硅生产工艺系列专利技术
1、边缘限定硅膜生长工艺的晶体生长设备与方法
2、标定单晶硅晶圆晶向的方法
3、处理薄晶体硅片和晶体硅太阳能电池的方法
4、从超高纯石英材料冶炼并直接铸锭的设备及至切片制取太阳能级硅片的工艺
5、从低缺陷密度的单晶硅上制备硅-绝缘体结构
6、粗蚀刻硅太阳能电池的工艺
7、单晶硅衬底双面抛光片
8、单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片
9、单晶硅的制造设备
10、单晶硅锭及其制造方法
11、单晶硅晶片及单晶硅的制造方法
12、单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法
13、单晶硅膜的制造方法
14、单晶硅片各向异性腐蚀夹具
15、单晶硅片抗机械力的提高
16、单晶硅生产设备
17、单晶硅生产装置
18、单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法
19、单晶硅直径测定法及其设备
20、单晶硅直径控制法及其设备
21、低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用
22、非线性磁场单晶硅拉制方法及其装置
23、分离单晶硅埚底料中石英的工艺
24、高纯度硅的制造方法
25、高纯度冶金硅及其制备方法
26、硅板及其生产方法和太阳能电池
27、硅薄膜的形成方法及硅薄膜太阳能电池
28、硅薄膜太阳电池集成组件及其制备技术
29、硅薄膜太阳电池用P型窗口层及其制备方法
30、硅薄膜太阳能电池的制造方法
31、硅光接收器件
32、硅结构体及其制造方法和装置及使用硅结构体的太阳电池
33、硅片和生产单晶硅的方法
34、硅片太阳电池制作方法
35、硅太阳电池的制作方法及使用该方法制作的硅太阳电池
36、硅烷组合物、硅膜的形成方法和太阳能电池的制造方法
37、晶体硅太阳电池组件
38、具有非均匀少数载流子寿命分布的单晶硅及其形成工艺
39、具有改进的内部收气的热退火单晶硅片及其热处理工艺
40、具有结构氧掺杂的硅及其生产方法和用途
41、绝缘体上单晶硅(SOI)材料的制造方法
42、宽谱域低温叠层硅基薄膜太阳电池
43、利用坩锅旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法
44、平板单晶硅表面的改性方法
45、热退火后的低缺陷密度单晶硅
46、生产太阳能电池用高纯度硅的方法
47、生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法
48、双层玻璃结构的晶体硅太阳电池组件
49、双面光照单晶硅太阳电池
50、太阳能电池及硅器件化学镀镍方法
51、太阳能电池用硅的制造方法
52、太阳能级硅单晶生产工艺方法
53、陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池
54、提拉单晶硅的装置
55、通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品
56、透明导电膜前电极晶体硅太阳能电池
57、无定形硅的制备方法
58、一种硅双面太阳电池
59、一种硅太阳电池
60、一种硅太阳电池的结构与制作方法
61、一种颗粒硅带的制备方法及其专用设备
62、一种生产硅太阳电池的方法及相关的设备
63、一种用于太阳能电池硅材料表面织构化的腐蚀剂
64、一种用于直拉法生长单晶硅的硅籽晶夹持器
65、一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
66、抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长的方法及装置
67、用于单晶硅生长的非Dash缩颈法
68、用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法
69、用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法
70、用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法
71、直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法
72、直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针
73、制备单晶硅片表面完整层的新途径
74、制备具有均匀热过程的单晶硅的方法
75、制造单晶硅的装置
