一种胶体氧化铈抛光液及其制备方法 CN202610409518.3

一种胶体氧化铈抛光液及其制备方法，步骤如下：S1.将可溶性铈盐溶于去离子水，再将表面活性剂、悬浮助剂、咪唑类改性剂分别溶于去离子水并搅拌澄清，所有溶液混合后经超声搅拌及高压均质机循环处理，制得改性反应前驱体；S2.对前驱体持续搅拌，匀速率滴加沉淀剂，加热后陈化搅拌，形成纳米球形貌的胶体氧化铈纳米球溶液；S3.将该溶液离心，固体经去离子水洗涤、冻干得氧化铈粉末，粉末与去离子水混合搅拌分散，制成胶体氧化铈抛光液。该抛光液粒径均一、分散稳定，SiO2/Si3N4选择比高，可减少晶圆划伤、保障抛光性能稳定，适配半导体晶圆浅沟槽隔离工艺的化学机械抛光需求。