一种氧化铝–氧化钇复合陶瓷涂层及其制备方法 CN202511783190.3

一种氧化铝–氧化钇复合陶瓷涂层及其制备方法，涉及材料科学与表面工程技术领域，其复合陶瓷涂层为其制备方法最终产品，其制备方法包括：制备氧化铝基体材料A；制备氧化钇、YAG或氧化钇复合材料B；对材料A和材料B进行热压烧结；对热压烧结后的材料进行退火处理；对退火后的材料进行精加工、抛光和清洗。本发明材料B厚度为1mm‑5mm，具有优异耐腐蚀性；材料A厚度为20mm‑30mm，提供良好机械强度；显著提高了材料密度和表面质量，解决了现有技术在高温抗氧化性、热稳定性及工艺可控性方面的不足；适用于半导体刻蚀设备中的陶瓷结构件，可根据需求调整组分配比和厚度，满足不同工况要求。