PERC电池背面AL2O3叠加膜层工艺 CN201711070707.X

本发明提供一种PERC电池背面AL2O3叠加膜层工艺，采用一种新的钝化膜叠加层工艺，在完成AL2O3沉积工艺后，在炉管内通入N2O、硅烷和氨气，控制气体比例，在AL2O3的膜层上，再一次生长SiNx和氮氧化硅的叠层膜。通过该工艺，可以降低原有的AL2O3膜的膜厚，一方面减少TMA的用量，节省成本，提升了产能，另一方面，通过三层膜的钝化工艺，提升了钝化效果，进而提升效率。
专利类型：发明
专利号：201711070707.X
专利申请日：2017.11.03
公开（公告）日：2018.03.27
申请（专利权）人：常州亿晶光电科技有限公司;
发明（设计）人：房江明;
国别省市：江苏;32