一种制备高方阻电池片的减压扩散工艺 CN201410489842.8

发明公开了一种减压扩散工艺，它包括恒温降压过程、前氧化过程、升温过程、深扩散过程、磷推进过程、后氧化处理和降温升压过程。相对于常压扩散工艺，本发明的减压扩散工艺引入扩散过程中压力这个变量，降低扩散炉管内压力，同时调节温度、时间、气流量来使扩散方块电阻均匀性更好，所制备的电池片光电转换效率更高，同时提高设备单位时间的产量与节省扩散磷源的用量。
专利类型：发明
专利号：201410489842.8
专利申请日：2014.09.23
公开（公告）日：2015.1.7
申请（专利权）人：china电子科技集团公司第四十八研究所
发明（设计）人：郭进;成文;刘文峰;汪已琳;姬常晓
国别省市：湖南;43