薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法 CN201410842463.2

一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法，包括如下步骤：(1)清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀，使所述玻璃基片表面具有绒面结构；并且(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的绒面结构上沉积450～750纳米的AZO薄膜，从而得到绒面结构的AZO薄膜。本发明开发了一种新的用于薄膜太阳能电池前电极的绒面AZO薄膜的制备方法，先采用离子束技术，对玻璃基片表面进行刻蚀处理，获得绒面结构的玻璃基片，然后在玻璃基片上以磁控溅射技术沉积具有绒面结构的AZO薄膜，避免了现有刻蚀技术中对膜层厚度的浪费，同时也避免了湿法刻蚀工艺中产生的废酸腐蚀液对环境造成的污染。
专利类型：发明
专利号：201410842463.2
专利申请日：2014.12.25
公开（公告）日：2015.03.25
申请（专利权）人：china建材国际工程集团有限公司; 蚌埠玻璃工业设计研究院
发明（设计）人：徐根保; 王芸; 杨勇; 曹欣; 姚婷婷; 张宽翔; 金克武; 蒋继文
国别省市：上海;31