一种太阳能电池的表面钝化方法 CN201410295070.4

本发明公开了一种太阳能电池的表面钝化方法，在镀膜工序制作减反射膜层时，采用CO2或CO2与SiH4作为反应气体，与太阳能电池硅片表面反应制作钝化膜层，然后在钝化膜层表面再镀一层氮化硅减反膜层；采用CO2作为反应气体时，CO2流量为500～15000sccm，射频功率为4000～8000W，时间为30～300s，钝化膜层的膜厚为5～20nm；采用CO2与SiH4作为反应气体时，CO2与SiH4的流量比例为1～45：1，射频功率为4000～8000W，时间为30～300s，钝化膜层的膜厚为5～20nm；本发明能有效提高太阳能电池的转换效率，节约生产成本，且与传统太阳能电池生产线兼容。
专利类型：发明
专利号：201410295070.4
专利申请日：2014.06.27
公开（公告）日：2014.11.26
申请（专利权）人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
发明（设计）人：黄纪德;蒋方丹;金浩;郭俊华;陈康平
国别省市：浙江;33