一种太阳能电池的背电极Mo薄膜及其制备方法 CN201410597967.2

本发明属于光纤材料领域，提供了一种太阳能电池的背电极Mo薄膜及其制备方法，所述太阳能电池的背电极Mo薄膜制备方法，首先，选择普通玻璃（载玻片）、钠钙玻璃或不锈钢为基体，将其进行洁净处理，并采用高纯氮气吹干备用，其次，采用磁控溅射法在基体上沉积一层金属层，然后再在金属层沉积Mo薄膜。该制备方法简单、易于操作、可重复性强和可精确控制Mo薄膜的厚度，同时，该方法制备的Mo薄膜具有膜基结合力高、电导率低的优点。
专利类型：发明
专利号：201410597967.2
专利申请日：2014.10.31
公开（公告）日：2015.03.04
申请（专利权）人：徐东
发明（设计）人：徐东; 仁昌义
国别省市：安徽;34