一种太阳能电池扩散工艺 CN201410372147.3

本发明公开了一种太阳能电池扩散工艺，依次包括以下步骤：将硅片放置在扩散炉中，在800℃以下以300-600sccm的速率通入氧气8-20min；用5-20min将炉内温度升至830-840℃，整个升温过程中持续通入流量比为1:5~1:7的氧气和氮气；保持炉内温度为830-840℃，继续通入流量比为1:5~1:7的氧气和氮气5-20min；保持炉内温度为830-840℃时间为5-10min后将炉内温度降至常温并取出硅片测其方块电阻。本发明步骤2和3中的氧气和氮气的比例为1：5-1：7，能解决扩散方阻中间点偏高的问题，有效改善方阻的均匀性。
专利类型：发明
专利号：201410372147.3
专利申请日：2014.07.31
公开（公告）日：2014.11.19
申请（专利权）人：江苏荣马新能源有限公司
发明（设计）人：孙飞龙;翟俊杰;何晨旭;朱姚培
国别省市：江苏;32