一种适用于提升晶体硅太阳能电池转换效率的扩散工艺 CN201410288203.5

本发明公开了一种适用于提升晶体硅太阳能电池转换效率的扩散方法，使用的硅片是电阻率为1-3ohm·cm的156mm╳156mm规格的P型多晶硅片，常规酸制绒后再进行磷吸杂的扩散方法，扩散炉为荷兰的TEMPRESS，通过增加扩散炉水冷，扩散步骤后加入了快速降温磷吸杂过程，找到合适的吸杂时间、温度和降温速率，使得产生有明显优势的少子寿命，工艺简单成本低廉，同时获得良好的光电转换效率。
专利类型：发明
专利号：201410288203.5
专利申请日：2014.06.25
公开（公告）日：2014.10.29
申请（专利权）人：上饶光电高科技有限公司
发明（设计）人：高勇;李战辉;张伟;王鹏
国别省市：江西;36