铜铟镓硒薄膜太阳能电池大规模生产中的碱金属掺杂方法 CN201210189541.4
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池大规模生产中的碱金属掺杂方法,在玻璃基底、不锈铟基底或柔性基底上沉积Mo金属背电极层;铜铟镓硒光吸收层的制备;对铜铟镓硒光吸收层进行碱金属元素掺杂沉积;对沉积后形成的碱金属薄膜进行热处理,以使碱金属渗入铜铟镓硒晶界,并改善其晶界特性;碱金属残留物清洗;在碱金属残留物清洗后的铜铟镓硒薄膜层上沉积CdS、ZnS或InS缓冲层;沉积高阻i-ZnO层和ZnO:Al窗口层,以形成铜铟镓硒太阳能电池。本发明退火后,碱金属渗入不会影响其晶格生成;碱金属渗透入铜铟镓硒光吸收层后,在提高开路电压的同时,可大幅提高填充因子,并提高电池光电转化效率。
专利类型:发明
专利号:
201210189541.4专利申请日:
2012.06.06公开(公告)日:
2013.12.25申请(专利权)人:
尚越光电科技有限公司发明(设计)人:
任宇航;任宇珂国别省市:
浙江;33