一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法 CN201310303245.7

本发明涉及固相合成碳化硅微粉技术领域，特别公开了一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法。该SiC微粉合成炉，包括通过钢壳包裹、内部设置合成腔体的主炉体，主炉体连接自动控制与检测系统，主炉体外壳上布置有上法兰盖和下法兰盖，其特征在于：主炉体内设置有对应布置的石墨电极和安装在底部的热电偶，主炉体的下法兰盖上布置有两个电极孔，两个电极孔上安装有与石墨电极连接的水冷电极，上法兰盖上部设置有连接真空系统的真空管道。本发明结构紧凑，自动化程度高，环保、节能效果明显，产品产率高，吨SiC成本低，能实现安全、稳定的收集CO气体，适于广泛推广应用。
专利类型：发明
专利号：201310303245.7
专利申请日：2013.07.19
公开（公告）日：2013.11.06
申请（专利权）人：张兴材
发明（设计）人：张兴材
国别省市：山东;37