一种基于龟裂模板法制备多孔金属薄膜透明导电电极的方法 CN201310122824.1

　
一种基于龟裂模板法制备多孔金属薄膜透明导电电极的方法，包括以下步骤：(1)合成龟裂液以钛酸四丁酯为原料，合成微晶化二氧化钛溶胶，即得龟裂液；(2)制作龟裂模板将龟裂液采用旋涂法或提拉法在衬底上均匀沉积一层龟裂薄膜，并控制温度条件，使龟裂薄膜自然龟裂形成龟裂模板；(3)金属薄膜沉积采用磁控溅射方式在龟裂模板上沉积致密的金属薄膜；(4)去除龟裂模板将衬底上的龟裂模板去除，并清理表面，在衬底上形成多孔金属薄膜透明电极。该方法制备的透明导电电极具有优异的光电性能和较强机械和环境稳定性，且制备工艺简单，资源消耗低，不仅是传统金属氧化物电极的有利替代者，而且能提高太阳能电池效率和降低成本。
专利号：201310122824.1
专利申请日：2013.04.10
公开（公告）日：2013.07.31
申请（专利权）人：华南师范大学
发明（设计）人：高进伟;韩兵;裴颗;王洋
国别省市：广东;44