一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺 CN201310694330.0

本发明公开了一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺，通过优化PECVD工艺参数，保持与常规工艺相同的折射率和膜厚基础上降低电池表面反射率和增强钝化效果，从而达到提升电池Voc、Isc、FF，即提升Eta的目的。本发明的优点在于只需调整参数，无需增加任何设备和任何工艺步骤和不增加成本，提升转换效率0.14%。
专利类型：发明
专利号：201310694330.0
专利申请日：2013.12.18
公开（公告）日：2014.03.19
申请（专利权）人：上饶光电高科技有限公司
发明（设计）人：张小明;彭国印;毛振乐;黄治国;王鹏
国别省市：江西;36