N型MWT太阳能电池结构及其制造工艺 CN201310008854.X

一种N型MWT太阳能电池结构，MWT太阳能电池的背面采用铝结和N型硅片形成P—N结。这种电池结构的工艺步骤为：原硅片预处理：对硅片进行表面减反的绒面制备，完成后形成N型带绒面硅片基底；利用三氯氧磷对硅片进行扩散，形成N+区，完成扩散后将磷硅玻璃去除；再在扩散后的硅片N+正表面利用化学气相沉积的方式沉积SiNx正表面减反钝化层，形成正表面减反钝化膜；选用紫外激光器，在完成SiNx沉积后的硅片表面打通孔。背面通孔浆料印刷：对准通孔位置印刷通孔银浆；背面铝浆印刷：按指定图形进行铝浆印刷，印刷后铝浆与通孔银浆互不接触；正面栅线印刷：按指定的图形进行正面银浆印刷，印刷后需和通孔银浆形成电学接触；高温金属共烧结：用于形成电极和硅的良好接触，以及形成P+型掺杂区，与衬底N型硅片形成P—N结。本发明能简化工艺，降低电池电极的接触电阻，同时降低生产成本。
专利类型：发明
专利号：201310008854.X
专利申请日：2013.01.10
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.04.10
分类号：
申请（专利权）人：常州天合光能有限公司
发明（设计）人：盛健
国别省市：江苏;32