太阳能电池的制造方法 CN201110244060.4

一种太阳能电池的制造方法，包含：步骤A：利用干式蚀刻方式蚀刻一第一导电型基板，使其一入光面成为高低起伏状，且该入光面还形成一个等离子破坏层；步骤B：氧化该等离子破坏层以转变成一个氧化层；步骤C：利用湿式蚀刻方式移除该氧化层；步骤D：热扩散处理以形成一个第二导电型射极层。通过该氧化制程将该等离子破坏层氧化，使本发明在热扩散处理前可以省略已知方法中的KOH蚀刻步骤，并且只需要一次的湿式蚀刻即可移除该氧化层，大幅缩短制程时间、提升产能，可兼顾量产的可行性及太阳能电池的转换效率。
专利类型：发明
专利号：201110244060.4
专利申请日：2011.08.24
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.3.6
分类号：
申请（专利权）人：茂迪股份有限公司
发明（设计）人：陈文华
国别省市：台湾;71