透明导电膜及其制造方法、染料敏化太阳能电池和固体电解质电池 CN201180029542.6

本发明提供了新型的透明导电膜及其制造方法、染料敏化太阳能电池以及固体电解质电池，所述透明导电膜使用了能够被稳定地供应且具有低毒性的低成本材料。所述透明导电膜是通过使用Li4Ti5O12作为靶材，在含氮气的环境中利用溅射方法形成的。所述透明导电膜是包含Li、Ti、O及N并且具有TiN型晶体结构的新型透明导电膜。
专利类型：发明
专利号：201180029542.6
专利申请日：2011.04.25
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.2.27
分类号：
申请（专利权）人：索尼公司
发明（设计）人：古谷龙也
国别省市：日本;JP