一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法 CN201210135847.1

本发明公开了一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，属于材料制备方法技术领域。所述的清洗方法通过双氧水超声、超纯水超声、丙酮超声、乙醇超声、吹干、擦拭、烘烤和等离子体清洗器清洗，获得清洗干净的玻璃衬底，最后可以在玻璃衬底表面进行镀膜。本发明提供的清洗方法中未使用强酸强碱，可以保证玻璃的表面不受破坏。本清洗方法操作简单，流程较短，不需要大的清洗装置和大量的清洗液，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。
专利类型：发明
专利号：201210135847.1
专利申请日：2012.04.17
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.08.29
分类号：
申请（专利权）人：北京鼎臣超导科技有限公司
发明（设计）人：王三胜;张丽
国别省市：北京;11