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微观结构的装置或系统，例如，微观机械装置专利技术
002 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法 003 将气密盖密封到半导体管芯的方法和装置 004 具有制动组件以控制光学快门和可动元件运动的机电装置 005 在随热启动梁移动的加热器上包括该梁的微电子机械系统 006 反射镜数量减少的微机电光学交连转换开关及其操作方法 007 狭窄间距用连接器、静电传动机构、压电传动机构、喷墨头、喷墨打印机、微型机... 008 窄间距用连接器、间距变换装置、微机械、压电传动器、静电传动器、喷墨头、喷... 009 温度补偿微型电动机械结构以及补偿环境温度变化的作用的方法 010 在现场气密封装微系统的方法 011 使用热塑材料的可锁定的微型机电致动器及其操作方法 012 适合于机械利益的包括被驱动的弓形梁的微型机电致动器 013 集成电路的封装微电子机械系统带通滤波器及其制造方法 014 膜片的制造 015 包括波状梁结构的微机电致动器 016 带有厚层结构的晶片上金属层的图形化方法 017 微型机械结构 018 致动器单元 019 成形后具有更均匀温度分布的热致动器 020 空化元晶格网 021 用于微型机电器件的热弯曲致动器 022 微机电设备中的移动传感器 023 一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法 024 微机电设备中的排放口 025 电磁型微驱动器驱动的微光开关 026 一种压电式柔性驱动放大可调量程微夹持手 027 一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器 028 带单电枢的微电子机械系统 029 防止极小分辨度存储器动子的平面外运动的固定器的应用 030 碳纳米管薄膜微机械红外探测器 031 由静电驱动大位移的微结构 032 一种静电致动微夹持器 033 用于移动传感器的屈曲耦合块 034 微型机械 035 基于吸氢合金薄膜的电化学微驱动器及其制备方法 036 用于低压微型器件微型壳体的微离子泵 037 具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法 038 改进的热致弯曲致动器 039 齿轮及其制作方法 040 微型结构及其制造方法 041 管道微机器人单轮直接驱动方法及其驱动装置 042 具有叠层结构的微型装置及其制造方法 043 微电子机械系统结构及其制造方法 044 对完全获释的微元件进行约束的系统和方法 045 薄膜微机械锚 046 静电激励器 047 连接构件、微开关、连接构件的制造方法及微开关的制造方法 048 用于微机电结构的桥接器 049 一种用于MEMS的微型压电驱动器 050 表面微型机械加工的绝对压力传感器及其制造方法 051 二维激励器及其制造方法 052 一种微机电开关 053 一种微机电开关 054 硅微机械结构的制造 055 一种用毛细管法气密封装微机电系统器件的方法 056 制造具有微机械结构芯片壳体的方法 057 在微机电结构应用中形成间隙的牺牲层技术 058 包括介电泳液体的微镜器件 059 在一基体上形成微电子弹簧结构的方法 060 一种采用电铸制作低摩擦系数微电子机械模具的方法 061 具有可变电容的组件 062 微加工的超声换能器阵列 063 制造悬浮多孔硅微结构的方法及其在气体传感器中的应用 064 微型器件 065 制造微机电构件的方法 066 微致动器、微致动器装置、光学开关以及光学开关阵列 067 限制声能横向传播的微加工的超声换能器基片 068 一种音叉式微机械陀螺及其制作方法 069 具有加强支持梁的微机电装置及形成微机电系统中的加强支持梁的方法 070 制造半导体构件的方法和半导体构件,尤其是薄膜传感器 071 微型机械及其制造方法 072 金属薄膜微桥的制造方法及其力学特性测试方法 073 采用多层驱动膜结构的微驱动器及其制作方法 074 微冷却测控系统及其加工方法 075 流体微机电系统器件 076 微电机的制造方法 077 微型电机和制造这种微型电机的方法 078 微致动器及其制造方法，以及微驱动阀 079 半导体装置及其制造方法 080 一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 081 基于介质层上电润湿的微液滴驱动器 082 电容传感器 083 反射式空间光调节器的制造 084 微加工的机电装置 085 具有三晶片结构的微机电系统 086 壳装微机械结构的装置及其制造方法 087 集成电路的封装微电子机械系统带通滤波器及其制造方法 088 以多孔硅封气孔技术或微通路技术的使用为基础的低功率硅热传感器和微射流装置 089 一种薄膜微桥结构及其制作方法 090 微型流体系统用支撑单元及其制造方法 091 制造电子器件的方法 092 微致动器和使用该微致动器的光学开关 093 带电子电路的碳化硅微机电器件 094 微连接器和与其相关的无功微组件 095 用于微型机电装置的热致弯曲致动器 096 流体驱动装置、静电驱动流体排出装置及其制造方法 097 具有防泄漏排放口的微机电设备 098 微流体系统中用于在微通道中产生电渗流体运动的致动器 099 对硅制品的氟化学处理 100 以导线架制作的微型循环流道装置 101 立体结构元件及其制造方法、光开关、微器件 102 微动定位装置 103 具有集成导电屏蔽的微型机电装置 104 MEMS阵列、其制造方法以及MEMS器件制造方法 105 热移动传感器 106 带有热应力释放装置的微型芯片 107 钢琴型微电子机械微镜的隔行阵列 108 微型机器和其制造方法 109 材料的高剪切混合和反应方法及装置 110 步进式全方位纳米移动平台 111 单片气动凝胶微阀 112 有选择地覆盖微机加工表面的方法 113 带纳米芯体的微型热管 114 一种MEMS光开关 115 用于超声定位与测距的微声学器件 116 低阈值直交流可分的微电子机械开关
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