氮化硅系列专利技术

1、氮化硅存储器件及其制造方法
2、氮化硅多孔体及其制造方法
3、从氧化硅膜选择蚀刻氮化硅膜的方法
4、玻璃包覆热等静压制备高性能氮化硅陶瓷
5、常压燃烧合成氮化硅粉体的方法
6、超薄氮化硅或氧化硅栅极介电层的制造方法
7、超细氮化硅微粉气相合成工艺
8、除去氮化硅膜的方法
9、半石墨化碳氮化硅材料及其生产方法
10、带消音装置的氮化硅发热装置
11、氮化硅材料固相有机前驱体除氧增强的方法
12、氮化硅车用电热杯
13、P型氮化硅只读存储器器件的初始化方法
14、氮化硅-氮化硼-二氧化硅陶瓷透波材料及其制备方法
15、氮化硅的模型配件和制造这种模型配件的方法
16、氮化硅的自研磨
17、氮化硅电路板
18、氮化硅电热塞中氮化硅与金属的一步活性连接方法
19、氮化硅电热水器
20、氮化硅电梯安全制动器
21、P型信道氮化硅只读存储器的擦除方法
22、氮化硅发热体及其制造方法
23、氮化硅发热装置
24、氮化硅粉、其烧结体、基板、及由此的电路板和热电元件模块
25、氮化硅粉末的制造方法
26、氮化硅粉末的制造方法及设备
27、氮化硅粉体α相转相装置
28、氮化硅工程陶瓷烧结新工艺
29、氮化硅和碳化硅一维纳米结构及其制备方法
30、氮化硅或氮化硼复合材料及其制造方法
31、氮化硅基复合陶瓷及其活塞顶
32、氮化硅结合碳化硅材料作侧衬砖的铝电解槽
33、氮化硅膜、半导体器件、显示器件及制造氮化硅膜的方法
34、氮化硅内存的制造方法
35、氮化硅耐磨部件及其制造方法
36、氮化硅烧结体的制造方法
37、氮化硅烧结体及其制造方法
38、氮化硅陶瓷电路基片及使用该陶瓷基片的半导体器件
39、氮化硅陶瓷火焰进气预热装置
40、氮化硅陶瓷及其成形工艺
41、自蔓延高温合成制备β－氮化硅晶须的方法
42、氮化硅涂层坩埚
43、氮化硅用作医用生物材料的组合物、生产和应用
44、氮化硅只读存储器的制造方法 2
45、氮化硅只读存储器的制造方法
46、氮化硅只读存储器及其制造方法
47、氮化硅只读存储器组件的制造方法
48、氮化硅只读存储元件的操作方法
49、氮化硅质蜂窝式过滤器及其制造方法
50、自蔓延合成高α相超细氮化硅粉体及氮化硅晶须的方法
51、氮化硼纤维补强反应烧结氮化硅陶瓷
52、导电性氮化硅复合烧结体及其制备方法
53、等离子体化学气相法制备高α相氮化硅粉体的工艺
54、低介电氮化硅膜及其制造方法和半导体器件及其制造工艺
55、低温光化学气相淀积二氧化硅、氮化硅薄膜技术低压燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法及设备
56、低压燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法及设备
57、定义氧化硅或氮化硅或氧化硅介电层的方法
58、多孔氮化硅陶瓷及其生产方法
59、反应结合氮化硅体浸渍工艺
60、防止天线效应的氮化硅只读存储器组件的结构
61、高导热性氮化硅烧结体和使用它的压接结构体
62、高断裂韧性自增强氮化硅陶瓷及其制备该陶瓷的方法
63、高精度热压氮化硅陶瓷球轴承及其制造方法
64、高耐磨性高韧性氮化硅基陶瓷刀具材料
65、高强度氮化硅多孔体及其制造方法
66、高热导率、高强度氮化硅陶瓷制造方法
67、高热导率氮化硅电路衬底和使用它的半导体器件
68、高韧性氮化硅基陶瓷刀具材料及其制造方法
69、高性能β－氮化硅晶晶须的制备方法
70、高致密、低气孔率氮化硅-碳化硅-氧化物系统耐火材料
71、高致密氮化硅反应烧结体的制备方法
72、工字型氮化硅结合碳化硅横梁
73、含有Ｙ2Ｏ3.Ｌａ2Ｏ3和Ａｌ2Ｏ3的氮化硅陶瓷及制造方法
74、化学机械抛光氧化硅和氮化硅的组合物与方法
75、基底或氧化硅或氮化硅或氧化硅或硅组件的制造方法
76、碱性无显影气相光刻胶及其刻蚀氮化硅的工艺
77、降低第二位效应的氮化硅只读存储单元及其制造方法
78、胶态成型制备氮化硅耐磨陶瓷的优化设计方法
79、解决湿法剥离氮化硅薄膜新的清洗溶液
80、晶须补强氮化硅复合材料制造方法
81、晶须增韧补强氮化硅复相陶瓷刀具材料
82、具有保护二极管的氮化硅只读存储器结构及其操作方法
83、具有高含量α-相的氮化硅的制备方法
84、具有高疲劳寿命的氮化硅轴承球
85、具有结晶晶界相的自增强氮化硅陶瓷及制备方法
86、控温活化自蔓延燃烧合成α相氮化硅粉体的方法
87、利用图案化金属结构增加氮化硅表面粘着度的方法
88、利用原子层沉积法形成氮化硅间隙壁的方法
89、漏电安全型氮化硅发热体
90、铝电解槽侧墙用氮化硅结合碳化硅耐火砖及其制备方法
91、密封氮化硅过滤器的方法和密封组合物
92、纳米非晶原位合成氮化硅晶须
93、纳米级氮化硅复合材料发热体及制作工艺
94、纳米碳化硅-氮化硅复相陶瓷及其制备方法
95、钎焊氮化硅陶瓷的钎料及以该钎料连接氮化硅陶瓷的方法
96、去除氮化硅保护层针孔的方法
97、使用二(叔丁基氨基)硅烷淀积二氧化硅和氧氮化硅
98、双管加压制备氮化硅超细粉的方法
99、双终点检测控制STI CMP工艺氮化硅厚度稳定性的方法稳定性的方法
100、酸性无显影气相光刻胶及其刻蚀氮化硅的工艺
101、碳化硅-氮化硅复相梯度材料的制备
102、碳化硅晶须强韧化氮化硅基陶瓷轧辊材料的制造方法
103、提高硼硅玻璃膜及氮化硅膜之间粘合强度的方法
104、添加氧化镁及稀土氧化物的烧结氮化硅陶瓷
105、通过碳热还原制氮化硅和氮化铝粉末的方法
106、无缺陷氮化硅晶须的制备
107、无压烧结高韧性氮化硅基陶瓷材料及其制造方法
108、一种超高韧性氮化硅基复合材料的制备方法
109、一种氮化硅粉体转相的方法
110、一种氮化硅或碳化硅多孔陶瓷的制备方法
111、一种氮化硅燃烧合成过程中增压调控的生产方法
112、一种氮化硅水基浓悬浮体的制备方法
113、一种氮化硅陶瓷部件的微加工方法
114、一种低温制备氮化硅粉体材料的方法
115、一种断裂韧性高的自增强氮化硅陶瓷及其制备方法
116、一种高硬度氮化硅陶瓷的低温烧结方法
117、一种含氮化硅铁的Al O -SiC-C体系无水炮泥
118、一种含氮化硅铁的免烘烤铁沟捣打料
119、一种金属与玻璃封接的氮化硅模具和模具的制造方法
120、一种控制STI CMP工艺中残余氮化硅厚度稳定性的方法
121、一种纳米级氮化钛－氮化硅复合材料的制备方法
122、一种生产高强度氮化硅结合碳化硅制品的方法
123、一种提高氮化硅基陶瓷性能或价格比的方法
124、一种提高氮化硅陶瓷抗氧化性能的表面改性方法
125、一种新的激光制氮化硅粉末的方法及装置
126、一种用于炼铁高炉的氮化硅刚玉质浇注耐火材料
127、一种造粒燃烧合成氮化硅的生产方法
128、一种制造氮化硅陶瓷的方法
129、一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备
130、一种自增强氮化硅陶瓷体及其制备方法
131、移除氮化硅层的方法
132、以氮化硅镁为烧结助剂的高热导氮化硅陶瓷的制备方法
133、以氮化硅镁作为生长助剂燃烧合成制备β-氮化硅棒晶
134、以氮化物作烧结助剂的氮化硅基陶瓷
135、用氮化硅涂层制造太阳电池的方法
136、用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜
137、用化学蒸气沉积技术沉积氮化硅膜和氧氮化硅膜的方法
138、用微波技术快速烧结氮化硅结合碳化硅耐火材料的方法
139、由二氧化硅碳氮共渗制备氮化硅的方法以及无晶须的颗粒氮化硅
140、由硅化镁燃烧合成氮化硅镁粉体的制备方法
141、在氮化硅层上形成氮氧化硅层的方法
142、在栅极蚀刻处理后用湿式化学方法去除氧氮化硅材料
143、增进氮化硅只读存储器的存储单元保持力的方法
144、制备“无缺陷”氮化硅晶须的装置
145、制备氮化硅细粉的工艺及制得的氮化硅细粉
146、制备纳米氮化硅粉体的气相合成装置 2
147、制备纳米氮化硅粉体的气相合成装置
148、制备纳米氮化硅粉体的系统
149、制造α－氮化硅粉末的方法
150、制造氮化硅只读存储器的方法
151、制造氧氮化硅的方法
152、中间包水口用氮化硅结合碳化硅耐火材料
153、重烧结氮化硅陶瓷制备方法
154、自蔓延高温合成氮化硅镁粉体的制备方法
155、自蔓延高温合成氮化硅铁粉末的制备方法
156、氮化硅陶瓷及其制备工艺
157、氮化硅质过滤器的制造方法