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碳化硅晶体生产工艺 碳化硅晶体加工方法 碳化硅晶体技术
2 一种提高碳化硅晶体质量的方法 3 一种碳化硅晶体制备方法 4 一种碳化硅晶体制备装置及其生长方法 5 一种碳化硅晶体制备方法 6 一种碳化硅晶体的生长方法 7 一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼-碳化硅复合陶瓷的生产方法 8 一种利用碳化硅晶体金刚线切割废液制备碳化硅陶瓷的方法 9 一种提升PVT法制备碳化硅晶体生长速率的方法 10 一种采用预处理籽晶生长碳化硅晶体的方法 11 一种使用预处理粉料制备碳化硅晶体的生长方法 12 一种高质量碳化硅晶体的生长方法及装置 13 一种PVT法生长碳化硅晶体的方法及装置 14 一种碳化硅晶体的制备方法 15 一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法 16 一种N型碳化硅晶体的制备方法及生长装置 17 碳化硅晶体生长装置及其生长方法、碳化硅晶锭 18 一种碳化硅晶体生长余料处理再利用方法 19 一种减少碳化硅晶体包裹物的方法 20 一种碳化硅晶体取下装置 21 碳化硅晶体生长方法及生长装置 22 碳化硅晶体生长方法及生长装置 23 基于液相外延法生长碳化硅晶体的生长控制方法及系统 24 一种碳化硅晶体激光切片装置及方法 25 一种碳化硅晶体生长的温度控制装置 26 一种碳化硅晶体砂浆线切割废液的回收方法 27 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法 28 PVT法生长碳化硅晶体的生长方法 29 一种碳化硅晶体生长方法及装置 30 一种碳化硅晶体的籽晶及碳化硅晶体的制造方法 31 碳化硅晶体熔体生长装置 32 一种高纯碳化硅晶体电阻率的检测方法和装置 33 碳化硅晶体生长用熔体装置 34 一种用于碳化硅晶体生长的模块化坩埚装置及其生长方法 35 一种碳化硅晶体微管的愈合方法及碳化硅产品和应用 36 一种碳化硅晶体微管愈合用装置及应用 37 一种新型等离子升华结晶炉及碳化硅晶体棒的制备方法 38 一种利于碳化硅晶体生长的坩埚 39 碳化硅晶体生长装置 40 碳化硅晶体及碳化硅晶种片 41 低应力碳化硅晶体生长温度场设置装置及晶体生长方法 42 碳化硅晶体生长用石墨坩埚装置及其单晶生长方法 43 一种无籽晶碳化硅晶体生长的方法 44 碳化硅晶体的生长装置及其制备方法 45 碳化硅晶体的生长装置及生长方法 46 一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用 47 一种碳化硅晶体减薄用砂轮、制备方法及其应用 48 一种碳化硅晶体的加工方法 49 一种制备立方体碳化硅晶体的方法及装置 50 一种高质量碳化硅晶体的制备方法 51 一种碳化硅晶体的生长方法 52 一种用于生产碳化硅晶体的原料及其制备方法与应用 53 一种新型沟槽碳化硅晶体管器件及其制作方法 54 一种碳化硅晶体的位错识别方法 55 碳化硅晶体及其生长方法和装置、半导体器件以及显示装置 56 一种碳化硅晶体二次退火方法 57 一种集成碳化硅晶体管及其制造方法 58 图案化的碳化硅籽晶及其加工方法和应用、碳化硅晶体、外延层、半导体器件 59 一种碳化硅晶体专用整形一体机 60 一种抑制导电型碳化硅晶体生长中碳包裹体缺陷生成的方法 61 一种碳化硅籽晶及其处理方法和一种碳化硅晶体 62 一种多坩埚半连续式碳化硅晶体生长装置 63 溶液法生长大尺寸碳化硅晶体的搅拌缓流装置以及设备 64 一种改善碳化硅晶体生长效率的方法 65 一种碳化硅晶体及其制备方法 66 一种用于生长高质量碳化硅晶体原料提纯的处理方法 67 一种抛光液及其制备方法和碳化硅晶体的加工方法 68 一种电阻法碳化硅晶体生长用坩埚 69 一种碳化硅晶体高温退火处理方法 70 一种低基面位错密度的碳化硅晶体生长方法 71 一种高品质的大尺寸碳化硅晶体生长方法 72 一种电阻法生长碳化硅晶体用装置及方法 73 一种碳化硅晶体电阻法退火用温控系统及方法 74 一种碳化硅晶体电阻法生长用电源及其方法 75 一种高品质碳化硅晶体的制备方法及其装置 76 一种碳化硅晶体快速定向方法 77 一种高纯半绝缘碳化硅晶体生长装置及其方法 78 一种抛光液及对碳化硅晶体的抛光方法 79 一种p型掺杂6H-碳化硅晶体的无损判定方法 80 一种p型碳化硅晶体的无损判定 81 一种碳化硅晶体的制备方法 82 一种碳化硅晶体生长过程中调节和旋转坩埚的装置及方法 83 碳化硅晶体生长热场旋转装置 84 一种用于PVT法生长的碳化硅晶体的原料烧结工艺 85 一种增加碳化硅晶体生长长度的石墨坩埚 86 晶体生长用坩埚以及释放碳化硅晶体热应力的方法 87 碳化硅晶体及其制造方法 88 一种实时观测调控碳化硅晶体生长过程中的温度的方法及其保温设备 89 碳化硅晶体及其制造方法 90 一种采用物理气相沉积技术生长大尺寸碳化硅晶体的方法 91 一种碳化硅晶体导电类型的无损判定方法 92 一种碳化硅晶体生长炉的高寿命保温系统 93 一种大尺寸碳化硅晶体原位热处理方法 94 一种碳化硅/晶体-锗/石墨烯异质结光电器件及其制造方法 95 一种碳化硅晶体生长用大粒径碳化硅粉料的合成方法 96 用于物理气相传输法生长碳化硅晶体的坩埚 97 用于生长高纯半绝缘碳化硅晶体的坩埚 98 碳化硅晶体生长设备 99 籽晶处理方法及碳化硅晶体生长方法 100 一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具 101 高质量碳化硅晶体生长用斜籽晶托以及生长高质量碳化硅晶体的方法 102 一种液相法生长碳化硅晶体的装置及方法 103 一种碳化硅晶体表面台阶宽度的检测方法 104 一种碳化硅晶体晶圆表面析出碳的去除系统及方法 105 一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚 106 一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶处理方法 107 用于碳化硅晶体高速生长的原料及碳化硅晶体的生长方法 108 一种采用升华法高速制造碳化硅晶体的装置及方法 109 一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置及方法 110 一种分体式碳化硅晶体生长用坩埚 111 一种碳化硅晶体生长用坩埚 112 降低碳化硅晶体杂质并获得高纯半绝缘碳化硅晶体的方法 113 无掺杂元素的高纯半绝缘碳化硅晶体生长装置 114 通过升华制造大直径碳化硅晶体及相关半导体SIC晶片的方法 115 基于碳化硅晶体的端面泵浦板条激光放大器晶体冷却模块 116 一种优质碳化硅晶体生长装置 117 一种制备无色碳化硅晶体的方法及装置 118 一种碳化硅晶体生长方法和装置 119 提高碳化硅晶体生长质量的籽晶处理方法以及用于碳化硅晶体生长的方法 120 碳化硅晶体炉坩埚升降控制系统及控制方法 121 一种高质量碳化硅晶体生长的方法 122 一种在含氧气氛下生长高质量碳化硅晶体的方法 123 一种碳化硅晶体高温退火处理方法 124 一种碳化硅晶体生长用的石墨籽晶托 125 用于碳化硅晶体的光学级平面加工的抛光装置及加工方法 126 一种磨削碳化硅晶体端面的方法及装置 127 一种用于生长碳化硅晶体的坩埚 128 基于宽禁带半导体碳化硅晶体的光参量振荡激光器 129 大尺寸15R碳化硅晶体的制备方法 130 一种用于碳化硅晶体生长的籽晶固定方法 131 一种减少碳化硅晶体籽晶生长面缺陷的方法 132 一种用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备方法 133 一种无石墨包裹物的导电碳化硅晶体生长工艺 134 用于提高粉源利用率的碳化硅晶体生长坩埚 135 用于提高晶体生长速率的碳化硅晶体生长方法 136 增加一次投料晶锭厚度的碳化硅晶体生长方法 137 碳化硅晶体生长炉控制系统 138 碳化硅晶体生长炉 139 纳米碳化硅/晶体碳化硅双缓变结快速恢复二极管及其制备方法 140 一种从碳化硅晶体打磨废料中提取金刚石磨料的方法 141 一种PVT法生长碳化硅晶体的方法及其装置 142 用4H碳化硅晶体制造的非线性光学器件 143 碳化硅晶体生长用高纯碳化硅原料的固相合成方法 144 碳化硅晶体的定型定向的切割方法 145 大应力碳化硅晶体的初加工方法 146 HTCVD法碳化硅晶体生长装置 147 连续型HTCVD法碳化硅晶体生长装置 148 碳化硅晶体和制造碳化硅晶体的方法 149 碳化硅晶体的制造方法、碳化硅晶体及碳化硅晶体的制造装置 150 一种碳化硅晶体退火工艺 151 制造碳化硅晶体的方法以及碳化硅晶体 152 多线切割机分段切割碳化硅晶体的方法 153 一种降低碳化硅晶体应力的退火工艺 154 一种制备高纯半绝缘碳化硅晶体的方法 155 一种用于生长高质量导电型碳化硅晶体的方法 156 一种以中子辐照的碳化硅晶体为传感器的测温方法 157 双室结构碳化硅晶体生长装置 158 一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托 159 制造高品质大尺寸碳化硅晶体的方法 160 旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置 161 通过在含氢气氛中的升华生长减少碳化硅晶体中的氮含量 162 在含氢环境中超高纯碳化硅晶体的生长 163 碳化硅晶体的生长系统 164 一种碳化硅晶体生长装置 165 在高纯碳化硅晶体中产生半绝缘电阻率的方法 166 碳化硅晶体生长的方法和装置 167 碳化硅晶体生长的方法和装置 168 用硅衬底β碳化硅晶体薄膜生长碳化硅单晶体 169 无色碳化硅晶体的生长 170 无色碳化硅晶体的生长
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