本发明公开了一种制备硅基纳米结构高效太阳电池的方法，包括：对硅片进行清洗；在硅片背面上生长单层氮化硅薄膜；采用湿法腐蚀在硅片正面形成纳米超小绒面结构；浓酸加热处理硅片，去除剩余的金属；使用激光烧蚀的方法在硅绒面上刻蚀出电极图形；使用碱溶液处理硅片，去...
