PERC电池及其制备方法 CN201911256027.6

本申请提供一种PERC电池及其制备方法，属于光伏电池技术领域。制备方法包括制绒、扩散、刻蚀、背面抛光、退火、背面镀膜及正面镀膜。背面镀膜步骤包括：向装有退火后的硅片的设备中通入臭氧气体进行氧化处理，使硅片的背面形成背面二氧化硅层。然后在同一设备中继续通入臭氧作为氧源，并加入铝源，在背面二氧化硅层上沉积背面氧化铝层。在背面氧化铝层上沉积背面氮化硅层。此制备方法通过通入臭氧形成了背面氧化硅层，且以臭氧为氧源，在通入臭氧的设备中可以继续沉积背面氧化铝层，可以在同一设备中形成背面二氧化硅层和背面氧化铝层，不需要增加臭氧氧化设备，保持了膜层接触界面的洁净度，可以提高PERC电池的PID性能。
专利类型：发明
专利号：201911256027.6
专利申请日：2019.12.09
公开（公告）日：2020.02.28
申请（专利权）人：通威太阳能（眉山）有限公司;
发明（设计）人：张鹏; 张忠文; 王永谦; 尹丙伟; 王岚; 王璞; 丁蕾; 眭山
国别省市：四川;51