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一种N型TOPCon太阳能电池制备方法 CN201911013168.5


本发明涉及一种N型TOPCon太阳能电池制备方法,通过先制备背表面超薄氧化层和重掺杂的本征非晶硅层,然后通过扩散制备正表面p+掺杂层,同时高温激活背面掺杂原子,使非晶硅层转化为多晶硅层,最后通过制备钝化减反膜和钝化膜、以及金属化工序,完成N型TOPCon太阳能电池的制备。本发明通过一步高温工艺实现正表面p+掺杂层和背表面n+重掺杂的多晶硅层,与传统的两步高温工艺的方法相比,本发明减小了对硅基体的损伤;本发明利用制绒的同时去除Poly绕镀的工艺方法,减少了去除绕镀的工序,同时,此工艺方法减小了绕镀区域与非绕镀区域表面结构的差异,从而有利于提高良率,降低生产成本。
专利类型:发明
专利号:201911013168.5
专利申请日:2019.10.23
公开(公告)日:2020.1.31
申请(专利权)人:泰州中来光电科技有限公司;
发明(设计)人:林建伟; 陈嘉; 张小帅; 马丽敏; 季根华; 刘志锋; 吴伟梁
国别省市:江苏;32


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