一种N型TOPCon太阳能电池制备方法 CN201911013168.5

本发明涉及一种N型TOPCon太阳能电池制备方法，通过先制备背表面超薄氧化层和重掺杂的本征非晶硅层，然后通过扩散制备正表面p+掺杂层，同时高温激活背面掺杂原子，使非晶硅层转化为多晶硅层，最后通过制备钝化减反膜和钝化膜、以及金属化工序，完成N型TOPCon太阳能电池的制备。本发明通过一步高温工艺实现正表面p+掺杂层和背表面n+重掺杂的多晶硅层，与传统的两步高温工艺的方法相比，本发明减小了对硅基体的损伤；本发明利用制绒的同时去除Poly绕镀的工艺方法，减少了去除绕镀的工序，同时，此工艺方法减小了绕镀区域与非绕镀区域表面结构的差异，从而有利于提高良率，降低生产成本。
专利类型：发明
专利号：201911013168.5
专利申请日：2019.10.23
公开（公告）日：2020.1.31
申请（专利权）人：泰州中来光电科技有限公司;
发明（设计）人：林建伟; 陈嘉; 张小帅; 马丽敏; 季根华; 刘志锋; 吴伟梁
国别省市：江苏;32