用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及镀膜方法 CN201910921596.1

本发明提供用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及镀膜方法。所述PECVD设备包括依次连接的加载台、加载腔、第一反应腔、第一传输腔、第二反应腔、卸载腔和卸载台，所述PECVD设备还包括：预热腔，其设置在所述加载腔与第一反应腔之间，用于在将异质结太阳能电池对应的硅片送入第一反应腔之前将所述硅片预热到预设温度，以便减少在所述第一反应腔中的停留时间；以及第二传输腔，其设置在预热腔和第一反应腔之间，用于将经所述预热腔预热的硅片传输至所述第一反应腔。本发明的PECVD设备及镀膜方法可避免在第一反应腔耗费过长的时间进行预热，可有效提高镀膜速度和效率，并可有效提高PECVD设备的产能。
专利类型：发明
专利号：201910921596.1
专利申请日：2019.09.27
公开（公告）日：2020.1.31
申请（专利权）人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司;
发明（设计）人：徐升东; 杨飞云; 陈金元;
国别省市：上海;31