一种微型固态薄膜锂电池的制备方法 CN201710669482.3
本发明涉及一种微型固态薄膜锂电池的制备方法。本发明属于化学电源技术领域。一种微型固态薄膜锂电池的制备方法，其特点是：微型固态薄膜锂电池的结构为玻璃/Al/V2O5/LiPON/Li/Cu；制备过程包括：采用磁控溅射法，沉积金属Al薄膜作为正极集流体，沉积V2O5薄膜作为正极薄膜；采用原子层沉积技术，沉积锂磷氧氮薄膜对正极薄膜进行修饰；采用磁控溅射技术，沉积锂磷氧氮固态电解质薄膜，沉积金属Li薄膜作为负极，最终完成微型固态薄膜锂电池的制备。本发明对微型固态薄膜锂电池正极/电解质薄膜界面进行了原子尺寸的修饰，能有效改善界面接触效果，降低电池阻抗，提高电池性能。
专利类型：发明
专利号：
201710669482.3
专利申请日：
2017.08.08
公开（公告）日：
2019.02.26
申请（专利权）人：
china电子科技集团公司第十八研究所;
发明（设计）人：
王胜利; 任丽彬; 付方樵; 丁飞;
国别省市：
天津;12
