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一种微型固态薄膜锂电池的制备方法 CN201710669482.3


本发明涉及一种微型固态薄膜锂电池的制备方法。本发明属于化学电源技术领域。一种微型固态薄膜锂电池的制备方法,其特点是:微型固态薄膜锂电池的结构为玻璃/Al/V2O5/LiPON/Li/Cu;制备过程包括:采用磁控溅射法,沉积金属Al薄膜作为正极集流体,沉积V2O5薄膜作为正极薄膜;采用原子层沉积技术,沉积锂磷氧氮薄膜对正极薄膜进行修饰;采用磁控溅射技术,沉积锂磷氧氮固态电解质薄膜,沉积金属Li薄膜作为负极,最终完成微型固态薄膜锂电池的制备。本发明对微型固态薄膜锂电池正极/电解质薄膜界面进行了原子尺寸的修饰,能有效改善界面接触效果,降低电池阻抗,提高电池性能。
专利类型:发明
专利号:201710669482.3
专利申请日:2017.08.08
公开(公告)日:2019.02.26
申请(专利权)人:china电子科技集团公司第十八研究所;
发明(设计)人:王胜利; 任丽彬; 付方樵; 丁飞;
国别省市:天津;12


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