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一种叠层背钝化太阳能电池及其制备方法 CN201710622999.7
本发明提供了一种叠层背钝化太阳能电池及其制备方法,涉及太阳能电池技术领域。一种叠层背钝化太阳能电池,包括硅晶片、背电极、叠层TMO膜,第一层TMO薄膜覆盖于硅晶片靠近背电极的一侧表面,第二层TMO薄膜覆盖第一层TMO薄膜远离硅晶片的一侧表面的至少一部分,背电极覆盖于第二层TMO薄膜以及未被第二层TMO薄膜覆盖的第一层TMO薄膜的表面。该结构具有优异的性能,降低生产成本,简化生产工艺,可大规模生产。一种上述叠层背钝化太阳能电池的制备方法,包括:采用热蒸发方法沉积形成第一层TMO薄膜及第二层TMO薄膜。该方法可通过掩膜板实现,不需要激光开模,降低生产成本,简化生产工艺。 专利类型:发明 专利号:201710622999.7 专利申请日:2017.07.26 公开(公告)日:2017.12.01 申请(专利权)人:顺德中山大学太阳能研究院; 发明(设计)人:王学孟; 刘宗涛; 国别省市:广东;44
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