改善PERC高效电池EL良率的工艺 CN201710470049.7

本发明涉及太阳能电池片制备技术领域，尤其是一种改善PERC高效电池EL良率的工艺，该工艺包括以下步骤：a、将炉管内的温度提升至800±200℃，然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除炉管内杂质物；b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气，将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应；c、将炉管内的温度降至500±200℃，通入氮气进行吹扫，将杂质氧化反应后的生成物吹除；d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理，本发明的改善PERC高效电池EL良率的工艺将沉淀在炉管里的杂质通过提升温度，通入氮气和氧气，将杂质氧化反应并吹除后，再进行退火处理，Voc和效率有所提升，EL无异常。
专利类型：发明
专利号：201710470049.7
专利申请日：2017.06.20
公开（公告）日：2017.11.07
申请（专利权）人：常州亿晶光电科技有限公司;
发明（设计）人：高翔; 孙铁囤; 姚伟忠;
国别省市：江苏;32