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改善PERC高效电池EL良率的工艺 CN201710470049.7


本发明涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其是一种改善PERC高效电池EL良率的工艺,该工艺包括以下步骤:a、将炉管内的温度提升至800±200℃,然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫,去除炉管内杂质物;b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气,将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应;c、将炉管内的温度降至500±200℃,通入氮气进行吹扫,将杂质氧化反应后的生成物吹除;d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理,本发明的改善PERC高效电池EL良率的工艺将沉淀在炉管里的杂质通过提升温度,通入氮气和氧气,将杂质氧化反应并吹除后,再进行退火处理,Voc和效率有所提升,EL无异常。
专利类型:发明
专利号:201710470049.7
专利申请日:2017.06.20
公开(公告)日:2017.11.07
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司;
发明(设计)人:高翔; 孙铁囤; 姚伟忠;
国别省市:江苏;32


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