太阳能电池背钝化膜层结构和制备方法 CN201610865158.4

本发明提供一种太阳能电池背钝化膜层结构，其主要改进之处在于，在太阳能电池衬底背表面依次形成有氧化铝膜、第一氮化硅膜和第二氮化硅膜，形成多层背钝化膜叠层结构；其中，氧化铝膜膜厚范围10‑40nm；折射率1.55‑1.70；第一氮化硅膜膜厚范围40‑100nm；折射率1.90‑2.20；第二氮化硅膜膜厚范围40‑100nm；折射率1.90‑2.20。最佳地，氧化铝膜膜厚20nm；折射率1.62；第一氮化硅膜膜厚范围75nm；折射率2.10；第二氮化硅膜膜厚范围75nm；折射率2.00。本发明提高了太阳能电池的转换效率。
专利类型：发明
专利号：201610865158.4
专利申请日：2016.09.29
公开（公告）日：2016.11.30
申请（专利权）人：无锡尚德太阳能电力有限公司;
发明（设计）人：乔琦; 鲁科; 钱洪强; 陆红艳; 黄海涛; 陈如龙;
国别省市：江苏;32