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一种局部背接触太阳能电池的制备方法 CN201510400159.7
本发明公开了一种局部背接触太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:去除硅片表面损伤层并进行双面抛光、制绒、形成PN结、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化膜、正面沉积钝化减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结;其中,所述制绒步骤采用金属催化腐蚀法,其绒面结构为纳米级绒面结构。本发明将去除硅片表面损伤层和双面抛光结合成一步工序来实现,简化了工艺流程,降低了成本。 专利类型:发明 专利号:201510400159.7 专利申请日:2015.07.09 公开(公告)日:2015.10.21 申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司; 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司; 发明(设计)人:邹帅; 龙维绪; 王栩生; 邢国强 国别省市:江苏;32
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