一种减少太阳能电池片刻蚀酸用量的工艺方法 CN201410771109.5

一种减少太阳能电池片刻蚀酸用量的工艺方法，它包括以下步骤：(1)用氢氟酸溶液对电池片进行去PSG；(2)用氢氟酸和硝酸的混合液刻蚀掉硅片的边缘部分；(3)用纯水清理电池片表面的杂质与残留的酸；(4)用KOH溶液去除电池片表面的多孔硅，并中和刻蚀过程中残留在表面的酸；(5)用纯水清理表面的杂质与残留的碱；(6)用氢氟酸溶液中和电池片表面的碱；(7)用纯水清洗掉电池片表面上的酸并吹干。其有益效果：无需使用高浓度的酸就可以刻蚀掉电池片的边缘部分，而且不易出现刻蚀不足的问题，同时可以减少氢氟酸与硝酸的用量，降低成本，提高生产的安全性。
专利类型：发明
专利号：201410771109.5
专利申请日：2014.12.11
公开（公告）日：2015.04.08
申请（专利权）人：东方日升新能源股份有限公司
发明（设计）人：胡天赐; 崔红星; 张文锋; 胡应全; 林海峰
国别省市：浙江;33