一种全背电极太阳能电池的生产方法 CN201410818279.4

本发明公开了一种全背电极太阳能电池的生产方法，该方法的步骤如下：提供一前置处理后的硅片；将硅片的双面进行硼扩散处理；刻蚀掉正面形成的BSG层，利用背面形成的BSG层作为制绒掩膜层，对硅片的正面进行制绒；去除背面的BSG层，清洗硅片，在双面制备腐蚀掩膜层；然后再在背面镀SiNx钝化膜层；再在正面镀SiNx减反膜层；对背面需要形成背表面场的区域进行开槽；对开槽区域进行刻蚀，腐蚀掉硼掺杂区域，则剩余的硼掺杂区域为发射极；在开槽区域进行磷扩散处理，形成背表面场；去掉残留的PSG层及腐蚀掩膜层；再对发射极区域进行开孔；印刷相应的金属分别连接背表面场和发射极，并烧结形成相应的电极。本发明使得全背电极电池的制备步骤减少，降低成本。省去了生长、去除掩膜的过程。
专利类型：发明
专利号：201410818279.4
专利申请日：2014.12.24
公开（公告）日：2015.04.01
申请（专利权）人：常州天合光能有限公司
发明（设计）人：章康平
国别省市：江苏;32