太阳能电池减反射膜及其制备方法 2013102464434
本发明提供了一种太阳能电池减反射膜，其由依次叠加设置的非晶硅层、第一氮化硅薄膜与第二氮化硅薄膜组成；所述非晶硅层设置于太阳能电池硅片表面。本发明还提供了所述太阳能电池减反射膜的制备方法。在制备减反射膜的过程中，本发明利用等离子体增强气相沉积法在太阳能电池硅片表面依次沉积非晶硅层、第一氮化硅薄膜与第二氮化硅薄膜。本发明的减反射膜同时具有钝化作用与减反射效果，有助于提高太阳能电池的转化效率。
专利类型：发明
专利号：
2013102464434专利申请日：
2013.06.20公开（公告）日：
2014.12.24申请（专利权）人：
晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司发明（设计）人：
肖斌;刘亚锋;金浩;董曙光;陈康平国别省市：
江西
