一种新型太阳能电池减反射膜的制备方法 CN201410304235.X

本发明涉及一种制备新型太阳能电池减反射膜的制备方法。将制绒、扩散并刻蚀后的多晶硅片装入石墨舟，然后进入PECVD设备制备减反射膜，减反射膜为SixNy/SiO2双层膜；制备过程以SiH4、NH3和O2为原料气体，N2为稀释气体，气体的总流量为0~9slm，其中，SiH4气体的流量为0~1000sccm，NH3气体的流量为0~6slm，O2气体的流量为0~6slm，N2气体的流量为0~5slm，控制功率为4000~6000W，电流为10~30A，射频发生器的占空比为1∶1~30，压力为50~10000mTorr，压力变化时间为0~10min，温度为300~500℃，升温速率为5~20℃/min，保温时间为30~900s。本发明能够实现钝化、降低反射率以及提高效率的目的。
专利类型：发明
专利号：201410304235.X
专利申请日：2014.06.30
公开（公告）日：2014.10.15
申请（专利权）人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
发明（设计）人：叶飞;金浩;蒋方丹;金井升;陈康平;郭俊华
国别省市：浙江;33