形成用于太阳能电池的CIGS光吸收层的方法及CIGS太阳能电池 CN201380004295.3
本发明涉及一种用于形成CIGS光吸收层的方法,其可以在衬底的Na浓度低,由此CIGS光吸收层的耗尽层厚的情况下,提高太阳能电池的效率。本发明的方法通过三步真空共蒸发法形成用于太阳能电池的CIGS光吸收层,并包括:同时真空蒸发In、Ga和Se的第一步骤;同时真空蒸发Cu和Se的第二步骤;和真空蒸发In、Ga和Se的第三步骤。在第一步骤中蒸发并供应的Ga的量大于在第三步骤中蒸发并供应的Ga的量。根据本发明的另一方面的CIGS太阳能电池包括:衬底;在衬底上形成的电极层;和在电极层上形成的CIGS光吸收层。在电极层和CIGS光吸收层的界面处的Ga/(In+Ga)的比率为0.45或更高。本发明的方法配置为使得在通过三步真空共蒸发法形成CIGS光吸收层的方法中,提高第一步骤中Ga的蒸发量,使得能够在Na浓度低的衬底上形成CIGS光吸收层,从而提高深度深的耗尽层的CIGS太阳能电池的效率。
专利类型:发明
专利号:
201380004295.3专利申请日:
2013.07.10公开(公告)日:
2014.08.27申请(专利权)人:
韩国ENERGY技术硏究院发明(设计)人:
尹载浩;郭智惠;安世镇;尹庆勋;申基植;安承奎;赵阿拉;朴相炫;朴海森;崔森武国别省市:
韩国;KR