太阳能电池集成内联组件及制作方法、太阳能电池 CN201410083511.4

　本发明涉及一种柔性硅基薄膜太阳能电池集成内联组件及制作方法、薄膜太阳能电池；该制作方法通过丝网印刷油墨制作掩膜和对应的刻蚀工艺形成单元电池的刻槽，从而获得多个单元电池内部串联的集成组件。本发明采用丝网印刷与干法/湿法刻蚀相结合的制备方法，能够提高刻槽的精度，减小“死区”区域面积，使得薄膜太阳能电池的功能区域增大，从而提高了薄膜太阳能电池组件的效率。专利号：201410083511.4 专利申请日：2014.03.07 公开（公告）日：2014.06.25 申请（专利权）人：京东方科技集团股份有限公司发明（设计）人：邸云萍;周伟峰;高涛;王龙国别省市：北京;11