一种太阳能电池的制绒方法 CN201210528389.8

本发明提供了一种太阳能电池的制绒方法，将基片放置于等离子体处理腔室中进行制程，其中，所述制绒方法包括：向腔室内部通入反应气体和侧壁保护气体；同时对所述基片表面进行刻蚀和侧壁保护，并在上述制程中施加脉冲式偏置射频电压，以形成绒面。本发明能够形成较好的表面绒面。
专利类型：发明
专利号：201210528389.8
专利申请日：2012.12.10
公开（公告）日：2014.06.18
申请（专利权）人：中微半导体设备（上海）有限公司
发明（设计）人：王兆祥;邱达燕;倪图强;苏兴才
国别省市：上海;31

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