一种同心圆型波纹式太阳能电池硅基片及其制造工艺 CN201410028012.5
本发明公开了一种同心圆型波纹式太阳能电池硅基片及其制造工艺,太阳能电池硅基片包括硅基底片本体,所述硅基片本体表面为同心圆型波纹式非平面结构,呈条状顺序排列。它的制造工艺为:利用磁控溅射法预淀积同心圆型二氧化硅薄膜和等离子增强化学气相淀积法淀积非晶硅掩蔽层和化学腐蚀形成表面形貌。本发明硅基片的表面为同心圆型波纹式非平面结构。该结构有效的增大了基片的受光面积,且当光从不同角度入射都有直射面,达到了最大限度的利用光能。硅基片的发电效率高。
专利号:
201410028012.5专利申请日:
2014.01.21公开(公告)日:
2014.04.16申请(专利权)人:
南通大学发明(设计)人:
王强;花国然;仲蓓鑫;程实;曾凤;钱爱平国别省市:
江苏;32