一种用于太阳能电池的基于纳米粒子铜铟硫硒薄膜的制备方法 CN201310733812.2

一种用于太阳能电池的基于纳米粒子铜铟硫硒薄膜的制备方法，采用磁控溅射法，在衬底的一侧沉积钼金属层作为背电极，在钼金属层背电极上制备铜铟硫吸收层，将铜铟硫吸收层衬底在硒化炉中进行硒化处理，制得铜铟硫硒吸收层；在铜铟硫硒吸收层上依次制备CdS缓冲层、本征氧化锌高阻层、氧化铟锡薄膜低阻抗层，制得用于太阳能电池的铜铟硫硒薄膜。优点是：选用的原料安全环保，操作方法简便，不引入其它杂质，太阳能电池转换效率高；并且对设备要求低，能源消耗小，对环境友好，适合工业化生产。
专利类型：发明
专利号：201310733812.2
专利申请日：2013.12.27
公开（公告）日：2014.04.02
申请（专利权）人：渤海大学
发明（设计）人：王月;王春杰;李超;张研研;陆晓东;张凤霞
国别省市：辽宁;21