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提高微晶硅薄膜太阳能电池光电转换效率的方法 CN201310491386.6
本发明公开了一种提高微晶硅薄膜太阳能电池光电转换效率的方法,包括:在玻璃或其它透明基板上沉积透明导电氧化物薄膜;在透明导电氧化物薄膜表面依次沉积单结或多结微晶硅电池;在电池表面沉积背电极形成电池芯片;所述方法还包括对所述电池芯片进行高压水蒸气热处理、层压封装和退火处理的步骤。本发明的提高微晶硅薄膜太阳能电池光电转换效率的方法能够减少微晶硅缺陷及悬挂键数目,提高电池载流子的有效收集,进一步提高光电转换效率。 专利类型:发明 专利号:201310491386.6 专利申请日:2013.10.21 公开(公告)日:2014.03.05 申请(专利权)人:福建铂阳精工设备有限公司 发明(设计)人:胡安红;曲铭浩;汝小宁;张津燕;徐希翔 国别省市:福建;35
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