一种低表面复合太阳能电池及其制作方法 CN201310303782.1

本发明提供了一种低表面复合太阳能电池及其制作方法,该低表面复合太阳能电池由下到上依次设置有：硅基底、扩散层、减反膜层，在减反膜层上烧结有正电极，所述正电极与所述扩散层电接触。其制作方法包括以下步骤：原硅片制绒；采用低方阻、深结工艺进行扩散;扩散后背面及边缘PN结刻蚀，去PSG；刻蚀后用HF/HNO3混合溶液或稀NaOH溶液处理，去除死层，并达到指定表面浓度;镀减反膜;丝网印刷，烧结。本发明在保留高方阻技术工艺简单、成本低廉的优点情况下，克服了其表面的掺杂浓度难以控制、无法完全避免表面死层的影响、方阻做高时均匀性难以保证的缺点。
专利类型：发明
专利号：201310303782.1
专利申请日：2013.07.19
公开（公告）日：2013.12.25
申请（专利权）人：中利腾晖光伏科技有限公司
发明（设计）人：陆俊宇;魏青竹;连维飞;张风雷;王志刚;易辉;汪燕玲
国别省市：江苏;32