用于生产太阳能电池的装置和方法 CN201310035422.8
一种用于形成太阳能电池的方法和装置。该装置包括限定真空室的外壳；以及配置成在多个表面上保持多个衬底的可旋转衬底装置，其中多个表面中的每一个都设置成面向真空室的内表面。第一溅射源配置成在多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第一类型的吸收层原子。蒸发源设置在真空室的第一副室中并且配置成在多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第二类型的吸收层原子。第一隔离源配置成隔离蒸发源与第一溅射源。
专利号：
201310035422.8专利申请日：
22013.01.29公开（公告）日：
2013.08.14申请（专利权）人：
台积太阳能股份有限公司发明（设计）人：
邓凤山;赵应诚;杨智仁;萧国瑞国别省市：
台湾;71
