导电基板及其制造方法,以及太阳能电池 CN201210206030.9
一种导电基板的制造方法,其包括下列步骤。提供一基板。以一常压等离子工艺于基板上形成具有一第一粗化表面的一阻挡层,其中以常压电压工艺所形成的第一粗化表面的表面粗糙度(Ra)介于10纳米至100纳米之间。以一真空溅镀工艺于阻挡层的第一粗化表面上形成一第一电极层,第一电极层的表面系具有一第二粗化表面,该第二粗化表面的表面粗糙度(Ra)介于10纳米至100纳米之间。此外,更可于第一电极层的第二粗化表面上形成一光电转换层。于光电转换层上形成一第二电极层。本发明另提供一种太阳能电池及导电基板。
专利号:
201210206030.9专利申请日:
2012.06.18公开(公告)号:
公开(公告)日:
2013.7.3分类号:
申请(专利权)人:
财团法人工业技术研究院;北儒精密股份有限公司发明(设计)人:
张加强;吴清吉;苏浚贤;黄导阳国别省市:
台湾;71